第224章 良率首次突破40%(1/2)
六块大屏幕实时显示着「洁净室数字孪生系统」的运行状态：左侧是三维流场预测图，红黄绿三色区域不断变化；中间是晶圆传输路径的实时监控，十二个关键节点闪烁着小芯AI的风险评估标签；右侧则是系统日志，一行行文字快速滚动。
张京京站在控制台前，眼睛布满血丝，却闪着光。他手里握着最新一批晶圆的流片计划表，这是系统上线后的第一份生产计划，经过了AI的严格风险评估。
「首批二十四片，分为三组。」他对着通讯器说，声音在寂静的控制室里格外清晰，「第一组八片，安排在上午九点到十一点，这是传统的高风险时段，我们要测试系统在最恶劣条件下的防护能力；第二组八片，安排在下午两点到四点，同样是高风险时段；第三组八片，安排在晚上十点到凌晨两点，这是传统意义上的低风险时段，作为对照组。」
林薇的声音从扬声器传来：「系统预测显示，今天上午九点二十三分，3号刻蚀机上方会形成粒子驻留区，持续时间约十八分钟。我们建议第一组晶圆在九点四十分之后再进入该区域，或者开启主动防护。」
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「选择开启主动防护。」张京京做出决定，「我们要测试系统在污染高峰期的真实拦截能力。」
「明白。启动3号区域微型过滤阵列，功率调至70%；调整天花板C区气流角度，形成向下气幕；同时建议将晶圆传输速度降低15%，减少扰动。」林薇快速下达指令。
屏幕上，代表防护措施的图标一个个亮起绿色。监控数据显示，3号区域的实时粒子浓度开始下降，从每立方厘米82个降到31个。
上午九点二十三分，预测的粒子聚集准时出现，但在多重防护下，经过该区域的晶圆表面监测到的粒子沉积数，比未防护的历史同期降低了73%。
第一组晶圆顺利通过所有关键工序。
第三天，初步数据
下午两点，中央研究院的数据分析中心，三十多位工程师围在大屏前。
屏幕上显示着系统上线前三天的流片数据对比：
系统上线前（最后一周平均值）
每日流片量：24片
预检测筛除率：42.3%
最终电性测试良率：37.9%
随机缺陷导致的失效占比：68.2%
系统上线后（三天平均值）
每日流片量：18片（因风险评估筛除部分高风险批次）
预检测筛除率：28.7%
最终电性测试良率：39.2%
随机缺陷导致的失效占比：51.4%
「良率提升了1.3个百分点。」金秉洙博士读出关键数据，「随机缺陷占比下降了近17个百分点。这说明系统确实有效。」
「但流片量下降了25%。」梁志远指出，「因为系统筛掉了太多『高风险』批次，我们实际获得的有效实验晶圆数量反而减少了。」
「这是必要的代价。」林薇解释道，「在系统预测准确率还不够高的情况下，保守策略能保证我们获得的每一片实验数据都是高质量的。低质量的数据不仅没用，还会误导工艺优化方向。」
「但时间呢？」有人小声质疑，「我们现在每天只有18片有效数据，而之前有24片，数据积累速度慢了四分之一。」
这个问题戳中了所有人的痛处。倒计时已经跳到92天，时间正在一分一秒地流逝。
张京京沉思片刻：「我建议调整策略。从明天起，将晶圆分为A丶B两类：A类是高风险批次，但我们可以尝试在开启主动防护的情况下进行流片，作为系统极限能力的测试；B类是低风险批次，作为正常的工艺验证。这样既能保证数据质量，又能提高数据量。」
「风险很大。」林薇提醒，「如果A类批次大量失败，会浪费宝贵的时间和材料。」
「但如果我们永远不敢测试系统的极限，就永远不知道它的真实能力边界。」张京京坚持，「而且，我们需要知道在什麽条件下，系统会失效，这本身就是宝贵的数据。」
陈醒的声音从视频会议系统传来：「我同意京京的方案。技术攻关不能只求稳，该冒险的时候要敢于冒险。但要做好风险控制：A类批次的数量控制在每天四片以内，一旦连续两片出现严重缺陷，立即暂停该模式。」
第七天，发现新问题
一周过去了，系统运行平稳，但良率爬升的速度开始放缓：第一天39.2%，第三天39.5%，第五天39.8%，第七天……39.9%。
在40%这个心理关口前，曲线又出现了平台期。
更让人困惑的是，分析团队发现了一个新现象：同一批晶圆，在相同环境下，随机缺陷的分布出现了明显的「位置偏好性」，总是集中在晶圆的特定区域，比如边缘区或者某个扇形区域。
「这不可能是环境粒子污染导致的。」林薇在分析会上断言，「环境粒子应该是随机分布的，不应该有如此明显的空间规律性。」
「除非……」赵静调出小芯AI的分析报告，「除非污染源不是环境，而是工艺本身。比如，某个设备的某个部件，在特定条件下会周期性释放污染物，而这个周期与晶圆位置有关。」
团队立即展开排查。经过三天三夜的数据挖掘和实物检查，他们发现了一个令人震惊的事实：4号清洗机的喷淋臂内部，有一段长约十五厘米的管路内壁出现了微观腐蚀。腐蚀产物中含有微量的铜离子，在清洗液高速流动时会周期性脱落，形成纳米级的含铜颗粒。
而这些颗粒，在后续的旋转乾燥过程中，会因为离心力被甩到晶圆的特定位置，正是那些「偏好性缺陷」出现的区域。
「问题找到了！」梁志远兴奋地汇报，「我们更换了那段管路，重新测试，偏好性缺陷消失了！」
「但这解释不了所有问题。」张京京冷静地指出，「偏好性缺陷只占随机缺陷总数的35%，还有65%是真正的随机缺陷。」
「但至少我们解决了一部分。」金秉洙说，「而且更重要的是，这个发现证明了一件事：我们的监测和诊断能力已经提升到了新的水平。放在三周前，我们根本不可能发现这种微观尺度的周期性污染。」
倒计时：85天 12小时。
第十四天，突破前夜
系统上线整整两周。这一天的生产总结会上，气氛有些微妙。
「今日流片二十片，预检测筛除率21.5%，最终电性测试良率……」负责汇报的工程师停顿了一下，「39.97%。」
四舍五入，就是40%。但就是这0.03个百分点的差距，让数字依然停留在30%的区间。
「我们已经连续四天在39.9%到40.0%之间徘徊了。」有人叹气，「就像有什麽无形的天花板在压着我们。」
林薇盯着数据曲线，突然问：「你们有没有发现一个规律？每天下午三点左右，良率数据会有一个微小但稳定的跃升；而每天上午十点左右，会有一个微小的下降。」
她调出分时段数据对比图，果然，下午时段的平均良-->>
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