第223章 林薇的「空气流场重建法」(1/2)
「三周时间，投入一亿零五百万，良率提升幅度在统计误差范围内。」他按下遥控器，切换到成本分析页面，「按照当前爬坡速度，一百零七天后，良率预计达到42.8%，远低于75%的成本线。这意味着……」
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「意味着项目失败。」董事会一位资深董事打断，声音低沉，「意味着我们投入上百亿的14nm自主化进程可能夭折，意味着未来科技在高端晶片领域将失去竞争力，也意味着……」他顿了顿，「国家的整个战略布局会出现巨大缺口。」
没人说话。窗外的阳光很好，但会议室里冷得像冰窖。
张京京深吸一口气：「技术团队的分析认为，核心瓶颈在于洁净室环境。我们正在用28nm时代的设计理念和监测手段，来解决14nm节点的污染控制问题。两者的精度要求相差两个数量级，就像用渔网去捞细菌，理论上可能偶然捞到几个，但不可能系统性地解决问题。」
「解决方案呢？」另一位董事问。
「有三种路径。」张京京调出下一页，「第一，继续优化现有洁净室，但进展缓慢，时间不确定；第二，彻底改造甚至重建洁净室，需要至少六个月，时间不允许；第三……」
他看向会议室角落，林薇站起身。
「第三条路，是用数位技术弥补物理设计的不足。」林薇的声音清晰平静，「我们称之为『空气流场重建法』。」
全息投影切换到一个复杂的模型：整个洁净室的三维结构，数万个彩色箭头代表气流方向，数十万个闪烁的光点代表粒子。
「传统洁净室管理是『黑箱模式』：我们在入口和出口监测粒子浓度，只要出口达标，就认为内部是乾净的。」林薇放大模型，「但14nm节点，我们需要知道黑箱内部的每一个细节：粒子从哪里产生？沿着什麽路径运动？在哪里聚集？会在什麽时候丶以什麽方式落到晶圆上？」
她调出过去三周的高精度监测数据：「我们从中科院借来的粒子图像测速系统，已经采集了超过五百小时的连续数据。分析发现，洁净室内存在明显的『粒子走廊』和『驻留区』。比如这里——」
模型高亮出一个区域：位于两排设备之间的通道。
「这是机械臂运输晶圆的主要路径。监测数据显示，每天上午九点到十一点，下午两点到四点，这个区域的0.05-0.1微米粒子浓度会激增五到八倍。原因有二：设备运行导致局部升温，热扰动改变了气流；人员交班时的走动产生涡流。」
「能预测吗？」陈醒第一次开口。
「能，但需要更精细的模型。」林薇点头，「我和赵静团队合作，开发了一套『洁净室数字孪生系统』。核心是一个基于深度学习的流场预测神经网络，输入参数包括：设备运行状态丶人员位置丶门开关状态丶空调参数丶甚至室外天气变化。输出是未来十五分钟内，整个洁净室空间每立方厘米的粒子分布概率图。」
她演示了一个实时预测：屏幕上，代表下午两点整的时刻，模型预测出三个高风险区域会同时出现粒子聚集。右侧切换到实际监测数据——几乎完美吻合。
会议室里响起低低的惊叹。
「但这只是预测。」张京京提出关键问题，「我们知道了问题在哪里丶什麽时候发生，然后呢？我们不可能让产线停产，不可能禁止人员走动，也不可能瞬间改变建筑结构。」
「所以我们开发了第二套系统：『主动动态防护』。」林薇调出另一个界面，「在预测到高风险区域即将形成时，系统会自动触发三个层次的响应：第一，调整局部气流，在粒子聚集区上方形成『气幕隔离』；第二，在晶圆传输路径上，实时开启微型高效过滤单元；第三，在最极端情况下，系统会建议延迟或调整某些工序的时间，避开污染高峰。」
她展示了一段实际运行的录像：下午两点零三分，系统预测到3号刻蚀机上方将形成粒子驻留区，而此时正有一批晶圆要经过该区域。系统自动调整了天花板气流的出风角度，同时在传输路径两侧开启了十二个微型过滤器。监测数据显示，经过该区域的晶圆，随机缺陷率比未受保护的批次降低了67%。
「这个系统现在可以部署吗？」陈醒追问。
「可以，但有限制。」林薇坦诚，「目前模型的预测准确率是82%，主要瓶颈在于训练数据还不够多样化。我们需要更多的『异常工况』数据——设备突发故障丶人员误操作丶电力波动等意外事件。但显然，我们不能为了训练AI而故意破坏产线。」
「所以又回到了老问题。」一位董事皱眉，「需要数据才能提升模型，但获取数据可能影响生产。」
「我有一个想法。」赵静的视频窗口接入，她人在AI研发中心，「我们可以用『迁移学习』和『合成数据生成』。首先，我们在实验室搭建一个小型洁净室模拟环境，在那个环境里制造各种异常工况，采集数据训练基础模型。然后，把这个模型迁移到真实产线的数字孪生中，再用真实数据做微调。同时，我们可以用生成对抗网络（GAN）创造合成数据，弥补真实数据的不足。」
「时间呢？」陈醒问出最关键的问题。
林薇和赵静对视一眼：「如果全力投入，小型模拟环境三天内可以搭建完成，基础模型训练需要五天，迁移微调需要三天，系统集成测试需要两天。总共……十三天。」
「十三天。」张京京重复这个数字，「现在是倒计时107天，十三天后是94天。如果我们用十三天换来良率的实质性突破，那值得。但如果十三天后，系统还是不够成熟……」
「那我们就浪费了宝贵的十三天。」陈醒接过话，「但如果不试，我们可能继续在迷雾中浪费一百零七天。」
他站起身，走到窗前，背对所有人。阳光勾勒出他的轮廓，坚定如磐石。
「我批准这个方案。」他转身，目光扫过全场，「但有两个条件：第一，十三天是硬时限，到时间无论结果如何，必须给出明确结论；第二，在这十三天里，现有产线不能完全停产，必须保持最低限度的流片实验，为可能的方案失败保留一线希望。」
「资源分配？」张京京问。
「现有产线保持30%产能运行，主要用于收集验证数据。」陈醒快速决策，「剩下70%的工程师资源，全部投入到林薇的方案中。赵静的AI团队丶张京京的制造团队丶林薇的仿真团队，打破部门壁垒，组成联合攻关组。我要每天看到进展报告。」
决策做出，会议室里的气氛微妙变化。从绝望的停滞，到有了明确的方向，哪怕那个方向依然充满风险。
会后，陈醒单独留下林薇。
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