第216章 试产线出现铜污染隐患(1/2)
张京京站在中央控制台前,双手抱胸,紧盯着十二块分屏上的实时参数。他身后的工程师团队鸦雀无声,所有人都知道这次重启的意义:如果清洗成功,意味着他们掌握了应对铜污染的关键技术,国产矽片的量产之路就迈过了最危险的坎;如果失败……
「第一批矽片开始清洗工序。」操作员报告,声音在寂静的控制室里显得格外清晰。
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屏幕上,机械臂将三片十二英寸的测试用矽片送入清洗槽。超纯水以精确控制的流速冲刷着矽片表面,超声波发生器启动,发出人耳听不见的高频振动。
「清洗液流量稳定,超声功率正常,温控在设定值±0.1℃范围内。」
张京京的目光锁定在铜离子监测曲线上。那条绿色的线平稳得近乎完美,在0.02到0.04ppt之间轻微波动,这是环境本底水平,说明系统是乾净的。
清洗持续了十五分钟。按照吴文山提供的方案,这是第一步「螯合剂冲洗」的时间。
「清洗结束,开始纯水漂洗。」
矽片被转移到漂洗槽,更高纯度的水流洗去残留的化学药剂。这是最危险的环节:如果系统里还有铜污染源,漂洗过程会将其暴露无遗。
时间一秒一秒过去。
控制室里只有设备运行的嗡鸣和偶尔的按键声。
「漂洗三分钟,铜离子浓度0.05ppt。」
「漂洗五分钟,铜离子浓度0.07ppt。」
「漂洗七分钟,铜离子浓度0.11ppt。」
数据在缓慢上升,但仍在安全范围内。张京京微微松了口气。按照经验,如果有污染,前五分钟就会急剧飙升。
「漂洗十分钟,完成。矽片传送至乾燥区。」
机械臂平稳地将矽片送出,送入氮气乾燥舱。整个过程看起来无懈可击。
「取样检测。」张京京下令。
三片矽片中的一片被送入旁边的快速分析室。三十秒后,初步结果在大屏上弹出:
**表面金属污染扫描结果**
- **铁:<0.01ppt**
- **镍:<0.01ppt**
- **铜:0.09ppt**
「低于0.1ppt!」控制室里爆发出压抑的欢呼。这个数值意味着矽片表面的铜污染已经控制在工艺允许范围内,可以进行后续的氧化丶光刻等工序了。
张京京紧绷的肩膀终于放松下来。他拿起加密电话,准备向陈醒和林薇报喜。
但就在他的手指即将触到拨号键时,刺耳的警报声突然撕裂了控制室的平静。
不是一声,是接连三声。
「警报!超纯水储罐B-3铜离子浓度异常!」
「警报!主循环泵出口监测点铜离子浓度超标!」
「警报!矽片清洗槽回流管检测到脉冲式污染峰值!」
张京京猛地转身,扑到控制台前。屏幕上,三条曲线同时飙升:储罐监测点的铜离子浓度从0.05ppt瞬间跳涨到2.3ppt;主泵出口从0.07ppt飙升到1.8ppt;最诡异的是清洗槽回流管的数据,它像心电图一样剧烈波动,峰值达到5.7ppt,但谷值又迅速回落到0.2ppt以下。
脉冲式污染。
「立即停止所有水流!关闭系统阀门!」张京京吼道,「启动应急隔离程序!」
工程师们的手指在键盘上飞舞。屏幕上,一个个代表阀门状态的图标从绿色变成红色,水流被强制切断。但污染数据并没有立即下降,相反,在系统停滞后的三十秒内,几个监测点的浓度又出现了一次脉冲峰值,然后才缓缓回落。
「这……这不合理。」负责水系统的刘工程师脸色苍白,「系统已经停运,没有水流,铜离子怎麽会突然出现又突然消失?除非……」
「除非污染源本身能够主动释放。」张京京接话,声音冰冷。
他调出系统结构图,用红色标记出刚刚出现污染的三个点:储罐B-3丶主循环泵丶清洗槽回流管。这三个点在物理位置上并不相邻,中间隔着数十米的管道和多个控制阀。
「能同时污染这三个点的,只有两种可能。」张京京快速分析,「第一,整个系统都被污染了,但之前的清洗数据证明不是这样。第二……」
他在图上画了一个圈,将三个点包围起来:「有一个中央控制节点,能够同时向这三个点投放污染物。」
控制室里安静得可怕。所有人都明白这句话的含义:如果污染是「投放」而不是「泄露」,那就意味着系统里存在某种智能化的破坏装置。更可怕的是,这个装置能够根据监测系统的采样周期,精确地在采样间隔期释放污染物,脉冲式爆发的模式完美避开了在线监测仪每十五分钟一次的定点采样。
「查控制逻辑。」张京京下令,「过去一小时内,所有自动阀门的开关记录丶泵的启停记录丶化学药剂添加记录,全部调出来。」
数据快速滚动。五分钟过去,负责控制系统的工程师抬起头,眼神里带着难以置信:「张博士,有一组异常记录……在警报发生前两分钟,储罐B-3的氮气覆盖系统被远程关闭了三十秒,然后又自动开启。」
「氮气覆盖?」张京京皱眉。超纯水储罐采用氮气覆盖是为了防止空气中的二氧化碳溶解导致pH值波动,但这和铜污染有什麽关系?
「关闭氮气覆盖后,储罐内部的压力平衡被打破。」刘工程师突然想到什麽,「如果……如果储罐内壁的某个位置被植入了铜释放装置,在正常氮气正压下,装置是关闭的。一旦压力平衡被打破……」
「装置就会启动,释放铜离子。」张京京明白了,「但这是怎麽实现的?储罐是不锈钢材质,内壁光滑,怎麽可能植入装置而不被发现?」
他调出储罐B-3的维护记录。这个储罐是三个月前新安装的,供应商是「上海洁净容器」,一家有二十多年历史的国企。安装前做过全面的完整性检测,包括内窥镜检查和氦气质谱检漏,都没有发现问题。
「除非装置不是『植入』,而是『喷涂』。」一个年轻的女工程师小声说,「如果在内壁喷涂一层含有微胶囊的涂层,胶囊里包裹着铜离子化合物,在特定条件下破裂……」
这个猜想太大胆,但解释了为什麽检测不到物理装置。
张京京立即联系材料分析室:「对储罐B-3做内壁取样,重点检测是否有非常规涂层。取样点就选在氮气入口附近,那里是压力变化最剧烈的区域。」
等待分析结果的时间,他再次审视整个事件的时间线:下午四点二十三分系统重启,四点四十分第一批矽片清洗完成,四点五十一分污染爆发。而在污染爆发前两分钟,氮气覆盖系统被远程关闭。
「远程关闭的命令-->>
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